Стартовало производство инерциальной навигации в России

[Наталья Бабюк]

Разработка принадлежит специалистам Центра микроэлектроники холдинга «Российские космические системы». Она представляет собой технологию групповой обработки кварцевых и кремниевых микрокомпонентов, которая применима для акселерометров и гироскопов. Такие компоненты смогут стать заменой импортным, поскольку крайне важны в сфере навигации, а также управлении космической и авиационной техникой.
Развитие микроэлектроники позволило уменьшить системы навигации до размеров спичечного коробка. Кроме того по новой технологии теперь на одной пластине можно выпускать большое количество одинаковых механических элементов акселераторов со строго определёнными размерами. Это позволило приблизиться к максимальной точности кремниевых элементов микроэлектромеханической системы акселерометров и гироскопов до 1 мкм. Выросла и точность микрообработки кварцевых чувствительных элементов в 5 раз.
Андрей Корпухин, заместитель руководителя отдела разработки микромеханических систем РКС, подчеркнул, что в создании высокотехнологичных чувствительных элементов используются материалы, изготовленные в России.